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箱式石英退火爐是一種在材料科學(xué)、半導體工程和陶瓷工藝中常用的設備,特別是在對石英、玻璃和晶體進(jìn)行高溫熱處理時(shí)。"箱式"指的是爐子的結構,通常是一個(gè)有蓋的箱形空間,可以打開(kāi)和關(guān)閉以便放入或取出樣品。石英退火爐通常使用電阻加熱元件來(lái)加熱爐內的空間。
退火是一種熱處理過(guò)程,通過(guò)加熱材料至一定溫度,保持這個(gè)溫度足夠時(shí)間后,再讓其緩慢冷卻,以此來(lái)減少材料內部的應力、改善它的微觀(guān)結構、提高化學(xué)均勻性、增強材料的機械性能和穩定性。石英退火爐特別適合用于對石英玻璃和石英基材料的退火,因為它們在高溫下需要一定的氛圍控制(如氧化或還原氣氛)以防止材料變質(zhì)。
箱式石英退火爐通常配備高精度溫度控制系統和程序控制,以確保熱處理過(guò)程連續且可重復。這對于需要高精度的溫度控制和均勻的熱分布,比如在半導體行業(yè)中,退火對改善晶體管和集成電路的特性至關(guān)重要。
此類(lèi)爐子可以設計為在不同的氣氛下工作,如真空、惰性氣體、還原性或氧化性氣氛等,以適應各種不同的材料處理需求。高純度石英材料的使用則能承受高溫,并保證處理過(guò)程中的材料不被雜質(zhì)污染。
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